德國Lamtech平面度儀如何實(shí)現(xiàn)平面度的測量？
德國Lamtech TOPOS 100 是一款非接觸式平面度測量儀器，用于精密制造表面，具有亞微米精度。 TOPOS 平面度測量儀器滿足 客觀工作測量工具的要求，用于精密部件（例如燃油噴射 系統(tǒng)、泵或閥門）的生產(chǎn)和質(zhì)量控制。
TOPOS 干涉儀允許對研磨、 精加工和拋光精密部件進(jìn)行非接觸式平坦度測量。 TOPOS 干涉儀根據(jù)光的放牧率原理運(yùn)行。 也可以測量較粗糙的部件的平坦度，光學(xué)平面或菲佐干涉儀沒有更多的條紋圖案。 計(jì)算機(jī)根據(jù)干擾模式計(jì)算測試對象的平坦度。 在研磨或研磨部件旁邊也可以測量拋光部件。 可測量多種材料： -金屬（鋼，鋁，青銅，銅等） -陶瓷 (Al2O3, 碳化硅, 碳化硅等) -塑料材料 -等 干涉儀可放置在生產(chǎn)線上，靠近加工機(jī)。 在整個(gè)測量區(qū)域內(nèi)，精度可達(dá) 0.1µm。
德國Lamtech平面度測量儀特點(diǎn)：
◆ 非接觸式平面度測量接觸
◆ 高精密評估: ＜0.4μm
◆ 測量速度快: ＜3秒
◆ 可用于車間現(xiàn)場, 100%全檢
◆ 平面度評估符合ISO/TS12781-1(FLTt)
◆ 三維形貌評估軟件, 可支持CNC編程批量檢測
◆ 表面自動識別系統(tǒng), 或手動區(qū)域(圓, 圓環(huán), 矩形區(qū)域)評估
◆ 數(shù)據(jù)采集量大, 一次完成對300,000點(diǎn)的評估
◆ 快速生成報(bào)告并保存為.csv數(shù)據(jù)格式, 支持Q-das等統(tǒng)計(jì)分析軟件
◆ 廣泛應(yīng)用于拋光, 研磨或細(xì)磨精密表面, 像閥門盤, 密封環(huán)等
平面度檢測儀技術(shù)參數(shù)：
型 號 | TOPOS 50 | TOPOS 100 | |
測量范圍(直徑) | 50mm | 100mm | |
參考平面平面度 | 優(yōu)于0.06μm | ||
參考面材料 | 石英玻璃 | ||
靈敏度 | 0.5,1,2或4μm每紋 | ||
精度 | (0.1??0.4)um + 2%x測量值, 基于靈敏度 | ||
Z軸波動范圍 | 低于100um, 表面斜度所限制 | ||
FLTt重復(fù)性 | 優(yōu)于0.01μm1) | ||
分辨率 | 優(yōu)于0.01μm | ||
數(shù)據(jù)采集量 | 300,000點(diǎn) | ||
測量時(shí)間 | 小于2s | ||
整體尺寸 | 560mm X 300mm X 400mm | 680mm X 440mm X 880mm | |
重量 | 34kg | 80kg | |
應(yīng)用示例：
